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1600℃單溫區管式電爐氣路連接方式采用了快速連接法蘭結構。使取放物料過程簡化,只需一支卡箍便可完成氣路連接,方便操作。
多工位管爐系周期作業,供企業實驗室,大專院校,科研院所等單位選用,設備為用戶提供具體真空、可控氣氛及高溫的實驗環境,應用在半導體,納米技術,碳纖維等新材料新工藝領域薄膜沉積爐、氣相沉積爐、納米材料爐。
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