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              RTP快速退火爐

              更新時間: 2024-05-09

              訪問次數: 10986

              產品報價:

              產品簡介: RTP快速退火爐操作便捷,電熱元件采用紅外燈管,升溫速度快,節省時間,滑動法蘭使裝卸樣品過程簡化,方便操作,可快速得到實驗結果,取消了反復的法蘭安裝過程,減少了爐管因安裝造成的損壞。

              詳細資料:

              RTP快速退火爐產品用途:

              此款CVD生長系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。

              RTP快速退火爐產品組成:

              此款CVD系統配置:

              1.1200度開啟式真空管式爐(可選配單溫區、雙溫區)。

              2.多路質量流量控制系統

              3.真空系統(可選配中真空或高真空)    

              產品特點:

              1 控制電路選用模糊PID程控技術,該技術控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。


              2中真空系統具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統采用高壓強,耐沖擊分子泵

              防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統使用壽命。

              產品名稱

              RTP系列-滑動式快速退火爐

              產品型號

              RTP-G06123K-H

              額定功率

              9KW

              額定電壓

              220AC 50/60Hz

              極限溫度

              1000℃

              連續工作

              950℃(<1 小時)

              加熱區長度

              250mm

              恒溫區長度

              200mm

              加熱元件

              紅外燈管

              溫度控制

              國產程序控溫系統可編程50段程序控溫;

              控制精度

              ±1℃

              石英管尺寸

              Φ60/Φ80/Φ100mm

              爐管材質

              石英管

              滑動距離

              300mm

              大降溫速度

              900~200℃的降溫速度:15min

              zui快升溫速度

              50oC/S

              滑動控制

              由溫度控制器自動控制爐體移動.  當程序完成,爐體按設定的速度滑動。

              流量計

              浮子流量計60-600ml/min

              滑軌尺寸

              360 x1300x265mm

              外形尺寸

              360x385x595mm

              重量

              85Kg

              標準配置

              氣路總成一套(含真空壓力表)石英管一支、石英堵三個、鉤子一把、高溫手套一副。


               

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