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              1200℃預加熱滑動雙溫區PECVD系統

              更新時間: 2024-05-09

              訪問次數: 20806

              產品報價:

              產品簡介: PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

              詳細資料:

              產品應用:

              PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

              產品組成:

              PECVD系統配置:

              1.1200度開啟式雙溫區真空管式爐

              2.滑動系統分為手動、電動滑動,并配置管內測溫系統。

              3.預加熱開啟式管式電爐

              4.等離子射頻電源

              5.多路質量流量控制系統

              6.真空系統(可選配中真空或高真空)  

              產品特點:

              生長溫度低;沉積速率快;成膜質量好,適用范圍廣,設備簡單。

              天津中環電爐股份有限公司  地址:天津市北辰區北辰科技園區雙川道11號

               

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