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              1200度小型PECVD系統

              更新時間: 2025-02-27

              訪問次數: 8461

              產品報價:

              產品簡介: PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。集成型PECVD系統PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系統PECVD-12IH-4Z/G

              詳細資料:

              產品用途

              PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

              產品組成

              PECVD系統配置;

              1.1200度開啟式滑動單溫區真空管式爐

              2.等離子射頻電源

              3.多路質量流量控制系統

              4.真空系統(單獨購買)

              產品特點

              電源范圍廣;溫度范圍寬;濺射區域長;整管可調;精致小巧,性價比高,可實現快速升降溫,是實驗室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等的理想選擇,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。

               

               

              系統名稱

              集成型PECVD系統

              1200℃小型PECVD系統

              系統型號

              PECVD-12IH-500A

              PECVD-12IH-4Z/G

              控制方式

              液晶屏微PLC控制系統

              手動

              極限溫度

              1200

              加熱區長度

              200mm

              恒溫區長度

              100mm

              溫區

              單溫區

              石英管管徑

              Φ60mm

              Φ50mm

              額定功率

              1.2Kw

              2Kw

              額定電壓

              220V

              滑動方式及距離

              自動滑動;200mm

              手動滑動;200mm

              溫度控制

              30段程序控溫

              50段程序控溫

              控制精度

              ±1

              爐管極限工作溫度

              1200

              氣路法蘭

              采用多環密封技術卡箍快速連接

              排風冷卻裝置

              的空氣隔熱技術,結合熱感應技術,當爐體表面溫升到50℃時,

              排溫風扇將自動啟動,使爐體表面快速降溫。

              氣體控制方式

              質量流量計(按鍵式)

              氣路數量

              2路(2-4路)

              4路(可根據具體需要選配氣路數量)

              流量范圍

              0-500sccm(標準毫升/分,可選配)氮氣標定

              精度

              ±1%F.S

              響應時間

              1sec

              工作溫度(流量計)

              20-120

              工作壓力

              進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

              進氣方式

              采用防倒流設計

              規格

              中真空(集成型請單獨購買)

              系統真空范圍

              10Pa-100Pa

              真空泵

              雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽氣速率4L/S(選配:其他抽速真空泵),出氣口配有油污過濾器,額定電壓220V,功率0.55Kw

              信號頻率

              13.56MHz±0.005%

              功率輸出范圍

              0W-500W

              0W-100W

              大反射功率

              350W

              30W

              射頻輸出接口

              50Ω,N-type,temale

              功率穩定度

              ±0.1%

              諧波分量

              -50dbc

              供電電壓

              單相交流(187V-253V)頻率50/60HZ

              整機功率

              70%

              屏幕顯示

              正方向功率,匹配器電容位置,偏置電壓值

              爐體外形尺寸

              290×350×340mm

              290×350×495mm

              系統外形尺寸

              420×1440×1100mm

              530×2310×750mm

              系統總重量

              270Kg

               

               

               

               

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