立式管式電爐

立式管式電爐組成的CVD系統設備由沉積溫度控件、沉積反應室、真空控制部件和氣源控制備件等部分組成亦可根據用戶需要設計生產，CVD系統除了主要應用在碳納米材料制備行業外，現在正在使用在許多行業，包括納米電子學、半導體、光電工程的研發、涂料等領域 。

立式管式電爐的爐門開啟自動斷電功能，使爐門打開后自動斷電。超溫保護功能，當溫度超過允許設定值后，自動斷電及報警。  漏電保護功能，當爐體漏電時自動斷電。以上功能確保了使用的安全性。

CVD一、操作便捷性；

1、氣路連接方式采用了快速連接法蘭結構。

2、使取放物料過程簡化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，方便操作。

3、取消了復雜的法蘭安裝過程，減少了爐管因安裝造成損壞的可能。

二、結構實用性;

1、1200℃立式管式電爐系列：加熱爐膛有左右兩部分組成，其中右部爐膛可整體向右翻轉110°，方便取放、

觀察實驗物料，爐膛材料采用的多晶莫來纖維真空吸附制成，節能50%，溫場均勻。電熱元件采取高電阻合金絲0Cr27Al7Mo2。

2、 密封法蘭采用雙環密封技術，有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進出氣微量可調功能。

3、兩端氣路支架，支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應力，杜絕了因自身應力而造成的爐管損壞。

4、的空氣隔熱技術，結合熱感應技術，當爐體表面溫升到達50℃時，排溫風扇將自動啟動，使爐體表面快速降溫。

三、使用安全性；

1、爐膛開啟自動斷電功能，使爐門打開后自動斷電。

2、超溫保護功能，當溫度超過允許設定值后，自動斷電及報警。

3、漏電保護功能，當爐體漏電時自動斷電。以上功能確保了使用的安全性。

四、控制智能化;

1、電爐溫度控制系統采用人工智能調節技術，具有PID調節、模糊控制、自整定功能，并可編制各種升降溫程序。

2、國產程序控溫系統可編輯50段程序控溫，進口程序控溫系統可編輯40段程序控溫。

3、電爐內配置有485轉換接口，可選配軟件實現與計算機相互連接。完成與單臺或多達200臺電爐的遠程控制、

實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。

五、周邊拓展性;

1、真空控制系統。通過各種真空控制系統，可以實現樣品在低、中、高真空環境下進行試驗。

2、氣體流量控制系統。通過浮子或質量流量控制器調節進氣量，以滿足用戶在不同反應氣氛或保護氣氛條件下的

實驗要求。
 

 


顯示畫面有儀表屏、光柱圖、實時曲線、歷史曲線、數據報表、全中文觸摸式操作，功能并且使用方便。